レーザーテック（6920） – 新製品 マスク検査装置 MATRICS X9ULTRAシリーズを発表

【概 要】 【内 容】 2022 年 4 月 26 日 報道関係者 各位 会社名 レーザーテック株式会社 （コード：6920 東証プライム市場） 横浜市港北区新横浜 2-10-1 代表者名 代表取締役社長 岡林 理 発表担当 経営企画部長 三澤 祐太朗 新製品 マスク検査装置 MATRICS X9ULTRA シリーズを発表 この度レーザーテックは、ペリクル非装着 EUV マスクに特化したマスク検査装置、MATRICS X9ULTRA シリーズを製品化いたしました。 現在販売中のフォトマスク検査装置、MATRICS X810EX シリーズならびに X8ULTRA シリーズは、その優れた検査性能、低ランニングコストおよび高い信頼性により、全世界のウェハファブや、マスクショップでご活用いただいて高評価を得ております。このたび、レーザーテックは、ペリクル非装着 EUV マスク上の微小異物検査性能を、従来装置よりもさらに向上したX9ULTRA シリーズを製品化いたしました。 半導体デバイス市場では 5G や HPC、高性能サーバー向けをはじめとする需要増大が続いており、半導体デバイスの製造工程では EUV リソグラフィの利用が拡大しています。レーザーテックは、2018 年に EUV マスク上の微小異物検出を目的として、X8ULTRA シリーズを製品化し、ペリクル非装着 EUV マスクの検査装置としてたいへんご好評をいただいてまいりました。今回発表する X9ULTRA シリーズでは、新たに自社開発したハイパワー193nm レーザー光源および高 NA 対物レンズを搭載する事により、従来機よりもさらに微小異物検出性能を向上しております。 レーザーテックは、今後も EUV マスク検査装置の継続的な性能向上を図り、業界の発展に貢献してまいります。 【特 長】 ム を向上 【用 途】 テクノロジーノード 3nm 以降のペリクル非装着 EUV マスクに特化したマスク検査システ ハイパワー193nm レーザーおよび高 NA 対物レンズの搭載により、微小異物検出性能 ウェハファブにおけるペリクル非装着 EUV マスクの品質確認検査 EUV マスクの製造工程における、微小異物検査 マスク検査装置 MATRICS X9ULTRA シリーズ ◇お問い合わせ先◇ 〒222-8552 横浜市港北区新横浜 2-10-1 レーザーテック株式会社 第 3 ソリューションセールス部 佐藤 亮一郎 TEL：045-478-7337 FAX：045-478-7333 E-mail：sales@lasertec.co.jp